德國(guó)好凱德Hokaido 高真空度羅茨泵 集成電路羅茨真空泵
產(chǎn)品特點(diǎn)
氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵主要由轉(zhuǎn)子，泵體冷卻器等組成，轉(zhuǎn)子在泵膠內(nèi)每旋轉(zhuǎn)120度并完成一次吸、排氣的過程。冷卻氣體從泵體的兩側(cè)進(jìn)入泵的吸氣腔，使泵不會(huì)因壓縮氣體而出現(xiàn)過熱，但對(duì)泵的抽氣性能沒有任何形晌。抽氣效率、噪聲、振動(dòng)等性能比傳統(tǒng)二葉羅茨泵顯著提高。氣冷泵的轉(zhuǎn)子采用漸開線的線型結(jié)構(gòu)．轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)無接觸且保持恒定間隙。由于該特殊的專利結(jié)構(gòu)，氣冷泵可以在高壓差和高壓縮比下長(zhǎng)期可靠運(yùn)行，既可單獨(dú)便用，也可多臺(tái)串聯(lián)使用，或與其他真空泵組成機(jī)組，達(dá)到更高真空度來滿足各類工藝要求。
特點(diǎn)：
·單獨(dú)使用時(shí)直排大氣的極限真空度可以達(dá)到150mbar。
·多級(jí)串聯(lián)或與其它前級(jí)泵串聯(lián)可以達(dá)中真空范圈。
·特殊專利結(jié)構(gòu)確保泵在高壓差和離壓縮比運(yùn)行時(shí)不會(huì)過熱和過載。
·三葉漸開線型線結(jié)溝和高精度機(jī)械加工確保產(chǎn)品運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)安靜。
·先進(jìn)的平衡式機(jī)械密封使泵的密封性能比傳統(tǒng)骨架密封更可靠。
·泵膠為無油結(jié)溝．適用于抽除一般空氣及各種特殊氣體。
廣泛應(yīng)用于：真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗(yàn)、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、真空包裝、集中抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。