德國(guó)好凱德Hokaido 高真空度羅茨� 集成電路羅茨真空�
�(chǎn)品特�(diǎn)
氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵主要由�(zhuǎn)�,泵體冷卻器等組�,轉(zhuǎn)子在泵膠�(nèi)每旋�(zhuǎn)120度并完成一次吸、排氣的過程。冷卻氣體從泵體的兩�(cè)�(jìn)入泵的吸氣腔,使泵不�(huì)因壓縮氣體而出�(xiàn)過熱,但�(duì)泵的抽氣性能沒有任何形晌。抽氣效�、噪�、振�(dòng)等性能比傳�(tǒng)二葉羅茨泵顯著提�。氣冷泵的轉(zhuǎn)子采用漸開線的線型結(jié)�(gòu).轉(zhuǎn)�(dòng)�(shí)無接觸且保持恒定間隙。由于該特殊的專利結(jié)�(gòu),氣冷泵可以在高壓差和高壓縮比下�(zhǎng)期可靠運(yùn)行,既可單獨(dú)便用,也可多�(tái)串聯(lián)使用,或與其他真空泵組成�(jī)組,�(dá)到更高真空度來滿足各類工藝要��
特點(diǎn)�
·單獨(dú)使用�(shí)直排大氣的極限真空度可以�(dá)�150mbar�
·多級(jí)串聯(lián)或與其它前級(jí)泵串�(lián)可以�(dá)中真空范��
·特殊專利�(jié)�(gòu)確保泵在高壓差和離壓縮比�(yùn)行時(shí)不會(huì)過熱和過��
·三葉漸開線型線結(jié)溝和高精度機(jī)械加工確保產(chǎn)品運(yùn)�(zhuǎn)平穩(wěn)安靜�
·先�(jìn)的平衡式�(jī)械密封使泵的密封性能比傳�(tǒng)骨架密封更可��
·泵膠為無油結(jié)溝.適用于抽除一般空氣及各種特殊氣體�
廣泛�(yīng)用于:真空鍍�、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試�(yàn)、微電子及集成電�、燈管及燈泡制造、真空包�、集中抽氣系�(tǒng)、各類化工處理、真空脫�、真空脫水、真空冷凍干�、真空蒸餾�