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集成電路羅茨真空�
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德國(guó)好凱德Hokaido 高真空度羅茨� 集成電路羅茨真空�


�(chǎn)品特�(diǎn)

氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵主要由�(zhuǎn)�,泵體冷卻器等組�,轉(zhuǎn)子在泵膠�(nèi)每旋�(zhuǎn)120度并完成一次吸、排氣的過程。冷卻氣體從泵體的兩�(cè)�(jìn)入泵的吸氣腔,使泵不�(huì)因壓縮氣體而出�(xiàn)過熱,但�(duì)泵的抽氣性能沒有任何形晌。抽氣效�、噪�、振�(dòng)等性能比傳�(tǒng)二葉羅茨泵顯著提�。氣冷泵的轉(zhuǎn)子采用漸開線的線型結(jié)�(gòu).轉(zhuǎn)�(dòng)�(shí)無接觸且保持恒定間隙。由于該特殊的專利結(jié)�(gòu),氣冷泵可以在高壓差和高壓縮比下�(zhǎng)期可靠運(yùn)行,既可單獨(dú)便用,也可多�(tái)串聯(lián)使用,或與其他真空泵組成�(jī)組,�(dá)到更高真空度來滿足各類工藝要��
特點(diǎn)�
·單獨(dú)使用�(shí)直排大氣的極限真空度可以�(dá)�150mbar�
·多級(jí)串聯(lián)或與其它前級(jí)泵串�(lián)可以�(dá)中真空范��
·特殊專利�(jié)�(gòu)確保泵在高壓差和離壓縮比�(yùn)行時(shí)不會(huì)過熱和過��
·三葉漸開線型線結(jié)溝和高精度機(jī)械加工確保產(chǎn)品運(yùn)�(zhuǎn)平穩(wěn)安靜�
·先�(jìn)的平衡式�(jī)械密封使泵的密封性能比傳�(tǒng)骨架密封更可��
·泵膠為無油結(jié)溝.適用于抽除一般空氣及各種特殊氣體�
廣泛�(yīng)用于:真空鍍�、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試�(yàn)、微電子及集成電�、燈管及燈泡制造、真空包�、集中抽氣系�(tǒng)、各類化工處理、真空脫�、真空脫水、真空冷凍干�、真空蒸餾�




RVQ 系列羅茨真空� Roots Vacuum Pump
型號(hào)Model50HZRVQ0540RVQ1100RVQ2200RVQ4300RVQ9000RVQ14000RVQ18000RVQ36000
額定流量 Rated airflowm3/h5401100220043009000140001800036000
L/S150300600120025003750500010000
極限壓力
Ultimate pressure
Pa15000
配用功率Powerkw3-18.55.5-377.5-7511-13222-28030-40037-50055-1000
�(zhuǎn)速Nominal speedrpm29001460147098014709801470
�(jìn)氣口Suctionmm125250300350350400500
排氣口Dischargemm125250300350350400500
最大耗水MaxwaterconsumptionL/h350060009000150002800035000450006000
泵頭重量Weightkg30030060012002300230032005000
注:泵的電機(jī)功率及冷卻器面積是根�(jù)工作壓差決定�,不同的壓差可配置不同的電�(jī)及冷卻器�
Note: the motor power and the cooler area of the pump is designed in accordance with the operating pressure
differential, where the various pressure differential can be configured with different motor and cooler.



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