RDE400干式螺桿真空泵 好凱德Hokaido螺桿泵
產(chǎn)品特點
·運轉功率低，噪音低，抽速快。
·可依制程/環(huán)境需求選用水冷，氣冷及防爆馬達。
·氣冷馬達機型可搭配自循環(huán)冷卻系統(tǒng)，能使用在無冷卻水系統(tǒng)的環(huán)境。
·可依不同需求選配魯式泵浦，抽氣速率最大可達3500m3/h。
| 技術參數(shù) | 單位 | RDE400 |
|---|
額定流量 | m3/h | 333/400 |
| L/min | 5556/6667 |
| cfm | 196/236 |
| 極限壓力 | Torr | ≤7.5x10-3 |
| mbar | ≤1x10-2 |
| Pa | ≤1 |
| 馬達 | 頻率
| HZ | 50/60 |
| 電壓 | V | 220/380/440 |
| 額定功率 | HP | 15/20 |
| KW | 11/15 |
| 鏈接 | 進氣口 |
| ISO63 |
| 排氣口 |
| NW50 |
| 冷卻水 | 流量 | L/min | 18-28 |
| 溫度 | ℃ | 6SLM18℃-15SLM28℃ |
| 壓力 | kg/cm3 | 2.0-4.0 |
| 接頭 |
| RC3/8" |
| 氮氣 | 流量 | L/min | 依制程By process |
| 接頭 |
| Swagelok1/4" |
轉子轉速
| rpm | 3000 |
| 噪音 | dB(A) | ＜68/＜70/＜75 |
| 系統(tǒng)最大漏率 | mbar.l/s | ＜1x10-5 |
| 室溫操作范圍 | ℃ | 5℃-40℃ |
| 操作濕度 | RH | 90%以下 |
抽速曲線圖
安裝尺寸圖
RDE400干式螺桿真空泵 好凱德Hokaido螺桿泵
可應用于：面板、太陽能、冶金系統(tǒng)、鍍膜、電漿制程、制程氣體抽取、生技/制藥、化工行業(yè)等領域。